一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器

曹新亮; 黄宝瑞

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一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器

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设计一种湿度传感器.该传感器选用聚酰亚胺作为湿度传感器的感湿介质,采用叉指电容式结构以增加感湿灵敏度,以电荷转移电路为微电容测量电路,用0.35 μm多晶硅栅进行设计,形成单片集成湿度传感器.整个组成电路均与CMOS工艺兼容.仿真结果表明:在测量激励方波激励下,片上湿度传感器在27℃下模拟显示出较好的直流电压输出特性.

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来源
《传感器与微系统》 |2014年第9期|71-73|共3页
作者
曹新亮; 黄宝瑞;
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作者单位

延安大学物理与电子信息学院,陕西延安716000;

延安大学物理与电子信息学院,陕西延安716000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.1;
关键词
CMOS兼容工艺; 介电常数; 湿敏电容器; 电荷转移; 电压输出;

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