CMOS兼容电容型湿度传感器的理论模型

陈军宁; 于峰崎; 王阳; 柯导明

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CMOS兼容电容型湿度传感器的理论模型

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对一种与CMOS工艺兼容的电容型湿度传感器进行了理论推导,物理建模和模拟仿真.该湿度传感器是采用梳状铝电极结构,聚酰亚胺作为感湿介质.通过分析感湿介质的介电常数吸附水分后的变化,考虑其电场分布,对电容型湿度传感器的理论模型进行了研究和模拟.利用Matlab软件对理论模型进行仿真,结果表明所建模型比通常采用的Laconte模型更符合实验结果.

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来源
《半导体学报》 |2005年第7期|1374-1378|共5页
作者
陈军宁; 于峰崎; 王阳; 柯导明;
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作者单位

安徽大学电子系;

苏州中科集成电路设计中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
湿度传感器; 电容; 介电常数; 聚酰亚胺; 灵敏度;

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