CVD法制备高质量硅外延片的工艺研究

摘要

本文采用化学气相沉积(CVD)法在单晶硅衬底上沉积硅外延层,同时研究了沉积工艺对外延层电阻率和厚度的影响规律.研究发现采用H2气变流量吹扫后可以有效抑制非主动掺杂,提高外延层电阻率的均匀性；衬底表面气流边界层厚度会对外延层的沉积速率有显著的影响.通过对沉积工艺的控制可以得到电阻率和厚度均匀性良好的硅外延层.