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冯炜光; 刘翔; 储清梅; 张鹏翔;
昆明理工大学光电子新材料研究所,云南,昆明,650031;
昆明理工大学真空冶金及材料研究所,云南,昆明,650093;
太阳电池; PECVD; SiN薄膜;
机译:PECVD法对硅太阳能电池SiN_x:H薄膜的工艺参数选择研究
机译:HMDS气体和RF-PECVD工艺制备的掺硅DLC薄膜的组织和性能
机译:PECVD法制备的硬质松弛α-SiN_xH_y薄膜:结构分析与形成机理
机译:PECVD SiN_x在P〜+硅表面的成本有效钝化研究进展
机译:PECVD系统的设计,构造和运行以及通过低压化学气相沉积法开发的GeO(2)-SiO(2)薄膜玻璃电介质。
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:通过PECVD / PVD组合工艺制备的SiOxCy-Ag纳米复合薄膜制备的Ag纳米粒子嵌入层。
机译:pECVD沉积参数对硅太阳电池表面和体相重组影响的统计分析
机译:硅薄膜隧道结层通过PECVD及其薄膜电池制备薄膜硅和块状结晶硅串联太阳能电池的方法
机译:复合薄膜太阳电池的基本材料,复合薄膜太阳电池,复合薄膜太阳电池模块,复合薄膜太阳电池的制造基本方法以及复合薄膜太阳电池的制造方法
机译:混合型薄膜太阳电池的制备方法及由此制备的混合型薄膜太阳电池
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