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全自动晶圆电镀系统软件开发

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摘要

根据客户需求自主开发全自动晶圆电镀设备,研究了基于LabVIEW模块化控制系统的设计,完成了多线程协调控制以及多线程间数据交换技术,实现了对晶圆自动化电镀设备的协调控制,达到预期设计的目的.

著录项

来源
《机械制造》 |2015年第4期|22-25|共4页
作者
桂志刚; 陆利新; 明志发; 王博文; 郭帅;
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作者单位

上海市智能制造及机器人重点实验室上海200072;

上海市智能制造及机器人重点实验室上海200072;

上海市智能制造及机器人重点实验室上海200072;

上海新阳半导体材料有限公司上海200073;

上海市智能制造及机器人重点实验室上海200072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类柔性制造系统及柔性制造单元;
关键词
LabVIEW; 多线程; 晶圆; 电镀;

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