ウエハー用全自動めっき装置 価格·サイズ4割減

摘要

田中貴金属グループでめっき事業を展開する日本エレクトロブレイティング·エンジニヤーズ㈱(EEJA、神奈川県平塚巿新町5-50、☎0463-32-8131)は、価格·装置サイズともに従来比4割減を実現した半導体ウエハー用全自動めっき装置「POSFER-Eシリーズ」の販売を7月から開始している。同シリーズは、8インチ以下の半導体ウエハーのめっき工程を全自動で行えるめっき装置。幅3.4m、奥行きl.95mというコンパクトな装置サイズを実現したほか、価格も40%安くした。スループットも従来比1.5倍となる月産1万278O枚と高めている。さらに、ウエハー表面のめっき液を強く撹拌できるカップ構造を採用しているため、深いビアへの埋め込み性や均一電着性を改善できるという。