图像边缘检测在集成电路晶圆片探针测试中的应用

摘要

比较了几种常用的边缘检测算法,选择较为合适的Laplacian边缘检测算子,配合最小二乘法,最终应用在全自动探针台中,精确计算晶圆片圆心坐标.实验数据表明,该算法能满足探针台中的测试要求.