半自动探针台在集成电路自动测试的应用

摘要

集成电路测试是集成电路产业链的重要组成部分.在对集成电路进行在片测试时,需要对整个晶圆进行测试且只有半自动探针台可以使用的场景下,可以通过探针台提供的编程接口,以及安捷伦IO库提供的编程范例进行软件二次开发.文中以Cascade Summit 12000B-S半自动探针台为例,设计一个由计算机、探针台、单片机实验箱、测试电路组成的简易自动测试平台.自动测试软件在安捷伦IO库提供的程序范例基础上开发,编程语言为VB.NET.最后对某公司的RFID晶圆进行测试,结果表明系统运行情况良好,测试效率高.