MEMS晶圆片测试系统高阻标准件研制

摘要

MEMS产品广泛应用于工业、医疗、军事等领域,其晶圆片测试是提高产品合格率的关键中测环节,其中绝缘特性是其重要参数,若测量不准确会为工艺带来恶劣影响甚至最终造成器件失效.本文针对MEMS晶圆片产品的绝缘电阻参数校准问题,设计并研制了高阻标准件并对其定标考核,最终解决其校准难题.rn 本文采用GaAs注入硼离子的工艺所研制的高阻标准样片，经定标装置定标后得到对应lGQ阻值的最佳电极尺寸范围，经过筛选考核后获得的标准件，可以解决国内MEMS产品研制单位芯片级中测环节的绝缘特性参数的整体校准难题。