用剥离技术和激光技术制作薄膜电阻

摘要

研究了用一种新的方法制作定制薄膜电阻的可行性。结果表明,采用剥离技术和激光技术可以很好地实现某些定制薄膜电阻的制作,满足客户所要求的指标,其简化了光刻工艺,改进了薄膜电阻的制作方法,具有较大的实用价值。