剥离技术制作金属互连柱及其在MEMS中的应用

摘要

介绍了利用AZ5214光刻胶及ZKPI-305IID型非光敏聚酰亚胺制作的两种不同的剥离层,即双层AZ5214和ZKPI+AZ5214。此两种剥离工艺简单易操作,可剥离出1μm金属镍柱,并可在MEMS工艺制作中获得了良好的效果。