MEMS加速度计技术特点与测试方法研究

摘要

目前微机械加速度计的研究方向集中于电容式、谐振式，主要使用光刻、腐蚀等以集成电路工艺为基础的硅微机械加工技术以及表面微加工和体微加工工艺。具有代表性结构的有三种加速度计：“跷跷板”摆式电容加速度计、“三明治”摆式电容加速度计和硅微谐振式加速度计。加速度计的性能指标主要包括量程、阈值、分辨率、零偏、标度因数等。加速度计测试分析的软硬件条件日渐成熟，针对特殊使用的功能与参数测试分析是研究方向。