MEMS加速度计的批量夹持工装及测试系统、测试方法

摘要

本发明提供了一种MEMS加速度计的批量夹持工装及测试系统、测试方法，该批量夹持工装包括导杆、压板、载板、面板、立板和底板；面板安装在立板和底板组成的固定基座上，面板包括支撑板和内嵌在支撑板上表面的电木针板，电木针板上设置多组探针；载板通过弹性元件安装在面板上方，载板设置多个加速度计安装槽孔，每个安装槽孔对应一组探针；压板沿面板边缘设置的导杆上下移动，压板下表面设置多组压棒，压板通过压紧卡扣与面板咬合固定。该批量夹持装置安装在分度头上，与测试仪配合共同实现加速度计批量测试，满足工程应用。