封装对高量程MEMS加速度传感器性能的影响

摘要

高g值加速度传感器可用于钻地武器,通常以每秒几千英尺的速度钻入地面、混凝土、岩石或其他的坚硬物质,所用的加速度传感器既要抗击如此苛刻的工作环境,又有快速响应冲击与钻入的整个过程。因此,钻到武器用加速度传感器要有很宽的测量范围、耐受高冲击且频率响应高。高量程MEMS加速度传感器是测量高冲击过程的核心器件。本文对一种梁膜结构压阻式MEMS加速度传感器的封装进行了系统研究,讨论了使用不同材料管壳封装后,对器件性能的影响。