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热载流子退化对MOS器件的影响

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摘要

介绍了评价热载流子注入效应的加速寿命试验,针对具体的工艺线,提取了MOS管加速寿命试验的模型参数,以阈值电压变化10 mV为失效判据,分别对0.8μm和0.6μm工艺线的热载流子注入效应进行了评价.整个测试过程由程序控制,设备精度高,使用简便,适用于亚微米和深亚微米工艺线的可靠性评价.

著录项

来源
《电子产品可靠性与环境试验》 |2002年第1期|14-17|共4页
作者
章晓文; 张晓明;
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作者单位

信息产业部电子第五研究所,广东,广州,510610;

信息产业部电子第五研究所,广东,广州,510610;

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正文语种 chi
中图分类金属-氧化物-半导体（MOS）器件;
关键词
热载流子注入; 加速寿命试验; 阈值电压; 可靠性评价;

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