氮化硅薄膜对晶体硅材料和电池的钝化效果研究

摘要

利用等离子体增强化学气相沉积技术,在P型直拉单晶硅硅片和铸造多晶硅片以及太阳电池的表面上沉积了非晶氮化硅(a-SiNx:H)薄膜,并研究了氮化硅薄膜对材料少子寿命和太阳电池性能的影响.研究发现:氮化硅薄膜显著地提高了晶体硅材料中少子寿命,同时多晶硅太阳电池的开路电压有少量提高,短路电流普遍提高了1mA/cm2,电池效率提高了2%.实验结果表明:氮化硅薄膜不仅具有表面钝化作用,也有良好的体钝化作用.