Piezoresistive accelerometer; FEA; Silicon; High-g force;
机译:1-DoF MEMS批量微加工压阻式加速度计的设计,建模和基于FEM的仿真
机译:基于共晶的晶片级包装技术,用于压阻性MEMS加速度计和使用分子动力学模拟的结合表征
机译:基于MEMS的压阻式加速度计用于头部损伤监测的机械结构设计:通过传感器惯性质量矩增量的计算分析?
机译:三轴压阻MEMS加速度计的设计和仿真
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:基于MEMS的压阻式加速度计用于头部损伤监测的机械结构设计:通过传感器惯性质量矩增量的计算分析
机译:具有纳米压阻的新型三轴微型耳塞压阻加速度计的设计与优化
机译:将宏观设计工具应用于mEms加速度计的设计