fluorocarbon; interconnects; passivation;
机译:循环刻蚀/钝化沉积作为面向高速室温原子层刻蚀的全空间概念
机译:通过紫外-纳米压印光刻,深度反应离子刻蚀和原子层沉积制备的纳米穿孔硅膜
机译:集成的等温原子层沉积/原子层蚀刻超细,用于TiO2的区域选择性沉积
机译:钝化循环中氧化物原子层沉积Si的空间划分深反应离子蚀刻的概念
机译:金属氧化物的原子层蚀刻和金属氟化物的原子层沉积。
机译:通过化学蚀刻和通过原子层沉积(ALD)沉积二氧化钛薄膜在纳米钛表面上形成微结构和纳米结构
机译:循环蚀刻/钝化沉积作为面向高速率室温原子层蚀刻的全空间概念