3C-SiC; large area substrates; high-quality growth; off-axis;
机译:在离轴(111)Si衬底上生长的高质量6英寸(111)3C-SiC膜
机译:在各种衬底温度下在轴上和轴外3C-SiC(111)/ Si(111)衬底上溅射AlN膜
机译:(111)3C-SiC薄膜生长中切线方向对离轴(111)Si的影响
机译:朝大面积(111)Si上生长的(111)3C-SiC薄膜发展
机译:电子应用硅上外延3C-SiC薄膜的生长和表征。
机译:在3C-SiC(111)/ Si(111)基板上进行ZnO(002)薄膜的RF溅射退火后处理和表征
机译:在各种衬底温度下在上轴3C-SiC(111)/ Si(111)基板顶部的AlN膜的溅射