ASML US, LP, San Jose, CA, 95131, USA;
ASML NV, 5504 DR, Veldhoven, CA, Netherlands;
ASML NV, 5504 DR, Veldhoven, CA, Netherlands;
Ultraviolet sources; Extreme ultraviolet lithography; Throughput; Resists; Imaging;
机译:光刻技术促进集成电路和器件的发展
机译:压印光刻技术对下一代芯片制造的EUV提出了挑战
机译:印刷有机电子技术平台,使面向塑料微处理器的集成电路的设计和制造成为可能
机译:通过EUV光刻实现制造SUB-10NM一代集成电路
机译:分步和闪光压印光刻:用于制造高级集成电路的材料和应用。
机译:纳米压印光刻步进机用于批量生产前沿半导体集成电路
机译:EUV光刻插入制造中的准备情况:IMEC EUV计划