School of Electrical Engineering, KAIST, Daejeon 34101, Korea,Samsung Electronics, Hwasung 18448, Korea;
School of Electrical Engineering, KAIST, Daejeon 34101, Korea;
机译:蚀刻建模,用于基于模型的65 nm节点光学邻近校正
机译:机器学习指导的蚀刻接近校正
机译:引入蚀刻内核以实现有效的图案采样和蚀刻偏差预测
机译:通过机器学习驱动的蚀刻偏置模型蚀刻邻近校正
机译:校正使用SF6 / C4F8 / Ar气体混合物进行深硅蚀刻时的长宽比依赖性。
机译:作者更正:基于二维材料异质结构的三维集成系统的原子精确石墨烯蚀刻停止层
机译:使用光发射光谱法测定等离子体蚀刻建模的定量分析:等离子体蚀刻响应预测