机译:使用基于光化分析的光发射光谱数据和神经网络预测等离子体蚀刻过程
机译:基于功能核的小波压缩光发射光谱数据建模:等离子刻蚀过程的预测
机译:在Ar / O-2 / Cl-2混合等离子体中使用光发射光谱法观察到,真空泵的老化受腐蚀气体对Cr腐蚀速率的影响。
机译:使用蚀刻等离子体的光发射光谱法对多晶硅蚀刻室中的沉积量进行原位定量
机译:在使用Langmuir探针和光发射光谱法的深反应离子刻蚀系统中,等离子体表征和刻蚀速率以及通孔侧壁角度相关。
机译:电子自旋共振光谱与电感耦合等离子体光发射光谱对氧化铁纳米粒子生物分布分析的比较
机译:SiO2等离子体蚀刻中原位发射光谱数据的光度学研究
机译:用电感耦合等离子体发射光谱法对金属合金进行综合化学分析