机译:引入蚀刻内核以实现有效的图案采样和蚀刻偏差预测
GlobalFoundries Dresden, Dresden, Germany;
GlobalFoundries Dresden, Dresden, Germany;
GlobalFoundries Dresden, Dresden, Germany;
etch kernel; scanning electron microscope contour; optical proximity correction; parameter space; sampling; artificial neural networks;
机译:基于功能核的小波压缩光发射光谱数据建模:等离子刻蚀过程的预测
机译:纳米图案结构等离子体刻蚀高效原子模拟的数值方法
机译:基于模式的等离子蚀刻预测
机译:有效的晶圆上构图的有效蚀刻偏差补偿技术
机译:新型9.3 µm CO2短脉冲激光辐照牙釉质和牙本质对牙釉质和牙本质的腐蚀和冲洗和自蚀胶黏剂系统的粘结强度
机译:自蚀刻裂缝密封胶与传统裂缝密封胶与全蚀刻或自蚀刻粘合剂系统的微泄漏比较
机译:Rimaps预测蚀刻坑图案