GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020;
GLOBALFOUNDRIES Inc., Hopewell Junction, NY, 12533;
OPC; Model based Etch Correction; Etch Modeling; Rule Based Etch Correction;
机译:引入蚀刻内核以实现有效的图案采样和蚀刻偏差预测
机译:“ Pad-Open-Short”和“ Open-Short-Load”去嵌入技术的比较,这些技术可对高质量无源器件进行准确的晶片上RF表征
机译:开发精确的晶圆上低温表征技术
机译:高效的蚀刻偏置补偿技术,用于精确晶圆图案化
机译:精确的计算机控制晶圆上天线测量,数据采集和分析。
机译:通过开发新型增强卡尔曼滤波器对惯性单元中的陀螺仪偏置进行精确热补偿的创新策略
机译:用于非常准确地测量循环模式之间的差异的有效技术
机译:基于mEms执行器的可重构贴片天线的新型晶圆辐射方向图测量技术