电化学蚀刻图案新工艺的研究

摘要

根据电化学腐蚀原理，对该工艺的可行性在理论上进行了分析论证，并通过实验加以证实。研究表明：只需一个具有某种图案的丝风掩膜，通过电化学腐蚀方式，便可完成在金属上该种图案的批量加工，与传统的化学蚀刻工艺相比，具有加工周期短，设备装置简单，加工成本低的优点。