机译:机器学习指导的蚀刻接近校正
Department of Electrical Engineering, KAIST, Daejeon, South Korea;
Department of Electrical Engineering, KAIST, Daejeon, South Korea;
Layout; Kernel; Optical imaging; Etching; Semiconductor device measurement; Resists; Semiconductor device modeling;
机译:蚀刻建模,用于基于模型的65 nm节点光学邻近校正
机译:基于光学邻近效应校正的受限光学邻近效应校正模式生成-基于模型的光学邻近效应校正中的可制造性规则设计
机译:通过10nm节点工艺的混合光学邻近效应校正建模和收缩校正技术提高光学邻近效应校正模型的准确性
机译:通过机器学习驱动的蚀刻偏差模型进行蚀刻接近校正
机译:机器学习引导蛋白工程原则
机译:机器学习指导的基于克隆的生物丰度变化的硅胶克隆型抗原反应性预测。
机译:通过反义寡核苷酸的扩张心肌病和心力衰竭治疗的机器学习引导表型:未来已经开始
机译:使用聚焦离子束机器对蚀刻部件进行断裂试验