声明
致谢
摘要
第一章绪论
1．1研究课题来源
1．2研究目的及意义
1．2．1研究目的
1．2．2研究意义
1．3国内外探头弹性机构研究动态
1．3．1弹簧式弹性机构
1．3．2薄膜式弹性机构
1．3．3铰链式弹性机构
1．3．4悬线式弹性机构
1．3．5簧片式弹性机构
1．4簧片常用加工方式
1．4．1电火花切割加工
1．4．2激光切割加工
1．4．3电铸加工
1．4．4离子束蚀刻加工
1．4．5光刻加工
1．5论文主要内容
第二章蚀刻法制作铍青铜簧片的原理与步骤
2．1蚀刻法加工簧片原理
2．2蚀刻法加工簧片步骤
2．3本章小结
第三章基于田口实验方法的工艺参数优化
3．1田口方法概述
3．1．1田口法背景
3．1．2实验设计中的几个概念
3．1．3田口法步骤
3．2实验设计及信噪比计算
3．2．1影响因子及其水准
3．2．2直交表设计
3．2．3信噪比计算
3．3平均值分析(ANOM)
3．3．1圆度均值分析
3．3．2直线度均值分析
3．3．3直线度平均偏移量均值分析
3．4方差分析(ANOVA)
3．5本章小结
第四章加工精度对比及重复性对比实验
4．1簧片加工精度对比
4．1．1 MUMA 200光学影像测量仪不确定度评定
4．1．2簧片加工精度对比
4．2复杂图案簧片加工
4．3探头重复性对比试验
4．4本章小结
第五章蚀刻法加工簧片的实用性验证
5．1探头结构设计及感测原理
5．1．1探头结构设计
5．1．2探头的感测原理
5．1．3探头弹性机构设计
5．2蚀刻法加工簧片的实用性验证
5．2．1实验装置
5．2．2重复性测试
5．2．3最小分辨率测试
5．2．4稳定性测试
5．3本章小结
6．1研究总结
6．2研究工作展望
参考文献
攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况
合肥工业大学;
