溅射后硒化过程对铜铟镓硒薄膜太阳电池吸收层的影响

摘要

本文阐述了在沉积Mo的玻璃衬底上采用直流磁控溅射制备Cu-In-Ga预制层，然后敞开式N2载气固态源硒化制备CIGS吸收层的材料特性。重点研究硒化时间对吸收层特性的影响，得到相对合理的硒化过程，以制备高质量的CIGS薄膜太阳电池吸收层材料。