铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层的硒化方法

摘要

本发明涉及一种铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层的硒化方法，包括(1)装片；(2)升温；(3)降温，其中步骤(1)中装有反应物的石英舟外面套有导向桶；步骤(3)中降温后的基片通过机械磁力拉杆由反应腔体拉至转换腔体。本发明反应后的基片由于从500℃以上的反应室快速移到室温真空转换腔体，由于采用双腔体结构，保证了基片温度的控制，减少了吸收层杂相的产生；本发明采用导向桶，保证了反应物的充分反应，减少了反应物的用量，提高了电池的性能和重复性。