公开/公告号US9157171B2
专利类型
公开/公告日2015-10-13
原文格式PDF
申请/专利权人 AKINORI SEKI;YASUYUKI FUJIWARA;
申请/专利号US201013201771
申请日2010-02-18
分类号C30B15/04;C30B29/36;C30B15/02;H01L29/167;C30B15/00;C30B19/00;H01L21/02;H01L29/78;H01L29/872;H01L29/16;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:23:59