公开/公告号US10283602B2
专利类型
公开/公告日2019-05-07
原文格式PDF
申请/专利号US201815921877
申请日2018-03-15
分类号H01L21/265;H01L29/417;H01L23/535;H01L29/06;H01L21/768;H01L21/762;H01L29/66;H01L21/306;H01L21/02;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/51;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:11:39