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METHOD FOR INTERCONNECTING ULTRA-FINE PITCH SEMICONDUCTOR CHIP TO SUBSTRATES USING THIN FILM METALLIZATION

机译:薄膜金属化互连超细间距半导体芯片至基底的方法

摘要

An electrical connection method between a micro-pitch semiconductor chip and a polymer substrate using a metal thin film process is presented. A method of electrically connecting a semiconductor chip and a polymer substrate using a metal thin film process according to an embodiment includes forming a hole in a polymer substrate to insert or mold a semiconductor chip therein, A thin film metallization process may be performed to connect the electrode and the electrode of the polymer substrate.
机译:提出了一种利用金属薄膜工艺的微间距半导体芯片与聚合物衬底之间的电连接方法。根据一个实施例的使用金属薄膜工艺将半导体芯片和聚合物衬底电连接的方法包括在聚合物衬底中形成孔以在其中插入或模制半导体芯片。可以执行薄膜金属化工艺来连接半导体芯片和聚合物衬底。电极和聚合物基底的电极。

著录项

  • 公开/公告号KR101938976B1

    专利类型

  • 公开/公告日2019-01-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 한국과학기술원;

    申请/专利号KR20170069753

  • 发明设计人 백경욱;정승윤;

    申请日2017-06-05

  • 分类号H01L23/538;H01L23;H01L23/48;H01L23/522;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 11:49:19

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