阵列基板制造用的光掩模、阵列基板及其制造方法

摘要

本发明提供一种使用相同的光掩模由母玻璃基板制作多片阵列基板的情况下可以自由地形成或切断连接相邻的曝光区域的配线；即使是在由相同的母玻璃基板制造不同大小的阵列基板的情况下也可以利用相同的检查用探针装置进行检查的光掩模、阵列基板及其制造方法。解决手段是，构成上述光掩模以使得：在阵列基板的上端部形成上部上下走向配线，在下端部形成下部上下走向配线；以及在所述下部上下走向配线的左侧或右侧，形成向所述阵列基板下端侧的边界U转弯的“向边界U转弯部”和再次向所述阵列基板中央部U转弯的“向中央部U转弯部”。