摘要：阵列缺陷检测设备通过给阵列基板加载驱动信号,模拟液晶成盒显示的方式可检测阵列基板上各类缺陷,为Array良率以及不良评估提供最重要的数据支撑.但作为一种过程检测设备,不论是测试原理或者测试方法上面较终端检测还是存在明显差异,部分弱导电性缺陷导致的不良,阵列缺陷检出尤为困难.非晶硅是一种半导体材料,作为TFT开关结构的关键部分,非晶硅残留则是会导致产品显示异常的一种缺陷,导电能力弱,阵列检测设备对这一类缺陷检测能力尤显不足.通过验证,蓝光照射可有效提高非晶硅的导电能力,从而提高阵列检测设备对非晶硅残留的检出.AT设备导入蓝光Recipe以后,对非晶硅残留检出由0.68％-＞11.05％(15.6CE HADS产品),提升10％以上,Module点不良发生率由8.62％-＞2.62％,下降5.81％.
