プラスチック基板上に規則配列した金属ナノドットアレイの効率的製造法（超微細切削加工による石英ガラス基板へ微細溝加工法の検討）

摘要

金属ナノドットアレイは局在表面プラズモン共鳴（LSPR）により特異な光吸収スペクトルを発現することが知られており，これを利用したバイオセンサーの開発が期待されている．このようなサブμmサイズの微細な構造を製作するには一般には電子線リソグラフィー法が用いられる．しかしプロセスが煩雑，設備コストが高い，大面積化が困難などの問題が有り，特に低コストが要求されるバイオセンサーの製造には適していない．効率的なナノドットの作製法として自己組織化法があるが，ドット配列や形態を正確に制御することは困難である．