确定沟槽刻蚀时间的方法和浅沟槽隔离的制造方法

摘要

一种确定沟槽刻蚀时间的方法，包括：提供具有沟槽图案的第一掩膜板，获得该第一掩膜板的透光率；将所述透光率的值输入到预先获得的第二掩膜板透光率和沟槽刻蚀时间的函数关系中，计算与所述第一掩膜板的沟槽图案相应的沟槽的刻蚀时间，其中，所述第二掩膜板具有沟槽图案，且所述第二掩膜板的沟槽图案和第一掩膜板的沟槽图案具有相同的技术节点。本发明还提供一种浅沟槽隔离的制造方法。本发明获得沟槽的刻蚀时间的工艺较为简单，且节省时间。