法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 27/01 授权公告日:20090812 终止日期:20160803 申请日:20050803
专利权的终止
2009-08-12
授权
授权
2009-08-12
授权
授权
2007-11-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-11-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-09-26
公开
公开
2007-09-26
公开
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机译: 应变绝缘体上半导体结构以及制造应变绝缘体上半导体结构的方法
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