晶圆蓝膜取晶固晶装置

摘要

本发明提供了一种晶圆蓝膜取晶固晶装置，包括输送轨，所述输送轨上输送有待固晶的料片；安装台，放置有待固晶的晶圆蓝膜；取晶吸嘴，所述取晶吸嘴通过位置调节机构设置在固定的机架上，所述位置调节机构可驱动所述取晶吸嘴在所述安装台和输送轨之间移动，通过设置可在安装台和输送轨之间移动的取料吸嘴，取晶吸嘴能够将所述晶圆蓝膜上的晶圆取出并安装到所述料片，同时通过顶杆来将蓝膜上的晶圆顶推到取晶吸嘴上的方式，提高了取晶效率，降低了单个晶圆的取晶固晶周期，提高了取晶固晶效率。