晶圆切削机台及晶圆边缘切削方法

摘要

该发明涉及一种晶圆切削机台及晶圆边缘切削方法，其中所述晶圆切削机台包括：至少两种尺寸的切削片，用于对晶圆进行切削，且各切削片的切削宽度各不相同；转动头，包括用于朝向待切削的晶圆设置的第一面，所有切削片可拆卸的安装于所述第一面，且所述转动头能够绕一垂直于所述第一面的直线转动，从而改变切削晶圆的切削片。以上晶圆切削机台及晶圆边缘切削方法具有至少两个切削片，能够在同一机台内完成多种晶圆边缘切削需求，满足晶圆制程多样化的需求，提升机台效能。并且在切削时能够及时检测晶圆的边缘切削情况，只有切削后的晶圆边缘情况符合要求后才拿出，因此不会对后续的晶圆制程造成影响。