采用晶圆传送机器人的晶圆预对准方法

摘要

针对传统的晶圆预对准控制系统成本高和体积大的不足,设计了基于晶圆传送机器人的晶圆预对准装置,并提出了高效、高精度的晶圆圆心和缺口定位算法.采用交换吸附的方式通过预对准装置一维旋转和晶圆传送机器人空间平移实现晶圆预对准.误差分析及预对准实验研究结果表明,晶圆圆心的定位精度＜50,预对准时间为10 s,满足设计要求.