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一种基于SOI工艺的NMOS器件及其构成的静电保护电路

摘要

本发明提供一种基于SOI工艺的NMOS器件及其构成的静电保护电路,其中,该NMOS器件的P阱形成为低压P阱,该器件的栅极形成为高压栅极;所述NMOS器件为多指并联结构;所述NMOS器件的源漏区未掺杂NLDD和PHALO。当本发明的NMOS器件用于静电保护时,若输入高压,则可以达到普通低压NMOS一样的ESD保护性能,同时其栅极又不会因为一直工作在高压下而发生失效。

著录项

  • 公开/公告号CN108063134B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-02-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201711250882.7

  • 发明设计人 单毅;董业民;

    申请日2017-12-01

  • 分类号H01L27/02(20060101);H01L29/423(20060101);

  • 代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;

  • 代理人邓琪

  • 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号

  • 入库时间 2022-08-23 11:31:21

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