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一种基于SOI工艺的静电保护器件及其构成的静电保护电路

摘要

本发明提供一种基于SOI工艺的静电保护器件及其构成的静电保护电路,该器件为多指并联的GGNMOS,其包括埋氧层、P阱区、源极、漏极和栅极,还包括P+接触区和伪栅极,其中,所述P+接触区设置在所述源极的远离所述漏极的一侧,且所述P+接触区与所述源极之间通过P阱区隔开;所述伪栅极覆盖在所述P+接触区与所述源极之间的P阱区上。本发明能提高反向ESD保护能力。

著录项

  • 公开/公告号CN108063133A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-05-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201711194469.3

  • 发明设计人 单毅;董业民;

    申请日2017-11-24

  • 分类号

  • 代理机构上海智信专利代理有限公司;

  • 代理人邓琪

  • 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号

  • 入库时间 2023-06-19 05:25:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-06-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/02 申请日:20171124

    实质审查的生效

  • 2018-05-22

    公开

    公开

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