公开/公告号CN108063133A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201711194469.3
申请日2017-11-24
分类号
代理机构上海智信专利代理有限公司;
代理人邓琪
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2023-06-19 05:25:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/02 申请日:20171124
实质审查的生效
2018-05-22
公开
公开
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