法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-18
授权
授权
2016-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/603 申请日:20160118
实质审查的生效
2016-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/603 申请日:20160118
实质审查的生效
2016-07-27
公开
公开
2016-07-27
公开
公开
机译: 减少了三维芯片堆叠的互连体积
机译: 减少了三维芯片堆叠的互连体积
机译: 三维芯片堆叠的体积互连减少