公开/公告号CN106374019B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-10-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201610798788.4
申请日2016-08-31
分类号H01L33/00(20100101);H01L33/36(20100101);H01L33/44(20100101);B81B7/02(20060101);
代理机构11228 北京汇泽知识产权代理有限公司;
代理人张瑾
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 10:19:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-09
授权
授权
2017-03-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L33/00 申请日:20160831
实质审查的生效
2017-03-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 33/00 申请日:20160831
实质审查的生效
2017-02-01
公开
公开
2017-02-01
公开
公开
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