谐振器纳米梁平行板静电控制装置及其控制方法

摘要

本发明公开了一种谐振器纳米梁平行板静电控制装置及其控制方法，该系统包括驱动装置、信号提取装置和控制装置三部分。该控制方法包括以下步骤：1)确定纳米梁类线性稳定振动的驱动间隙条件；2)确定电压放大器的非线性反馈控制电压增益g_f。本发明利用石墨烯薄膜的电阻随着其变形而变化的特性，作为位移传感器件应用于纳米梁与驱动电极的振动控制，解决了现有NEMS器件因静电驱动出现的有害非线性影响而失效的问题。