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机译:平行板静电驱动MEMS谐振器的节能全栅振荡分析
Univ Politecn Cataluna Edifici U Despatx 507 C Pau Gargallo 5 E-08028 Barcelona Spain;
Univ Politecn Cataluna Edifici U Despatx 507 C Pau Gargallo 5 E-08028 Barcelona Spain;
Microsystems; Parallel-plate electrostatic actuation; Harmonic Balance; Energy efficiency;
机译:平行板静电驱动MEMS谐振器的节能全栅振荡分析
机译:合并平行板和悬浮致动器,以使静电MEMS的线性和可调性能够实现
机译:平行板和扭转静电MEMS执行器的动态吸合
机译:平行板MEMS静电执行器的闭环电压控制
机译:MEMS静电平行板致动器的控制。
机译:阻尼对带分子间力的静电平行板和扭转执行器动力学行为的影响
机译:平行板静电驱动mEms谐振器的节能全程振荡分析