ADRC; ESO; Electrostatic actuator; MEMS; robustness; stability;
机译:压电层在静电MEM执行器中的应用:吸合电压的控制
机译:合并平行板和悬浮执行器以实现静电MEMS的线性和可调性
机译:合并平行板和悬浮致动器,以使静电MEMS的线性和可调性能够实现
机译:平行板静电微夹钳的闭环控制分析
机译:MEMS静电平行板致动器的控制。
机译:带时滞反馈的静电驱动MEMS执行器的分叉控制
机译:平行板静电驱动mEms谐振器的节能全程振荡分析