一种谐振器纳米梁静电控制装置

摘要

本发明公开一种谐振器纳米梁静电控制装置，该装置由驱动装置、信号提取装置和控制装置三部分组成，利用石墨烯薄膜传感器的电阻阻值随纳米梁弯曲变形而变化的特性，将石墨烯薄膜传感器变化的电压信号作为控制输入信号，利用轴向平行板控制器产生的轴向控制力控制纳米梁的非线性振动。本发明的目的在于避免谐振器纳米梁静电驱动出现的有害非线性现象，使纳米梁振动处于类线性的稳定振动。