谐振器纳米梁静电吸合控制系统及其控制方法

摘要

本发明公开了一种谐振器纳米梁静电吸合控制系统及其控制方法，该系统包括驱动装置、信号提取装置和控制装置三部分。该控制方法包括以下步骤：1)确定纳米梁主共振峰值振幅；2)确定纳米梁吸合临界挠度；3)确定纳米梁吸合临界电压；4)确定纳米梁与基底电极吸合时驱动电压的吸合频率。本发明利用石墨烯薄膜的电阻随着其变形而变化的特性，作为位移传感器件应用于纳米梁与驱动电极的吸合控制，解决了现有NEMS器件因纳米梁与驱动电极发生吸合效应而失效的问题。