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曝光治具及其工作过程

摘要

本发明提供一种曝光治具,包括:平置底板,开设于底板中心、形状与平置矩形菲林贴合、用于放置平置菲林的矩形放置框,固定于矩形放置框内、与矩形放置框贴合、用于承载平置菲林的平置透光板,用于将平置矩形版模与矩形放置框对位的对位装置,以及用于将版模与菲林压合的压合装置。本发明还提供上述曝光治具的工作过程。本发明方便菲林与版模的对位,且对版模与菲林采用从中部向边沿逐步排气的方式,最终去除版模与菲林间的空气。

著录项

  • 公开/公告号CN104932208B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-01-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201510390641.7

  • 发明设计人 郭新建;

    申请日2015-07-07

  • 分类号

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 215000 江苏省苏州市相城区太平工业园振太路25号

  • 入库时间 2022-08-23 09:50:58

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-01-18

    授权

    授权

  • 2015-10-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20150707

    实质审查的生效

  • 2015-09-23

    公开

    公开

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